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　　证券之星讯息，按照天眼查APP数据显示中微公司（688012）新得到一项创造专利授权，专利名为“等离子体惩罚装备及其结尾履行器、角落环及本领”，专利申请号为CN7.1，授权日为2025年3月11日。

　　专利摘要：本创造公然了一种等离子体惩罚装备及其结尾履行器、角落环及本领。所述等离子体惩罚装备的响应腔内设有效来承载晶圆的基座；围绕基座表侧扶植的角落环，设有容纳部用来与结尾履行器相配合；所述结尾履行器征求运载晶圆的晶圆承载部和运载所述角落环的角落环承载部；所述结尾履行器穿过响应腔腔壁的启齿进出所述响应腔。本创造中所述等离子体惩罚装备的结尾履行器也许同时运载晶圆和角落环进出响应腔，也也许只身运载晶圆进出响应腔实行传片，或只身运载角落环进出响应腔实行角落环转换。本创造完毕了正在不掀开响应腔的境况下转换角落环，明显地升高了筑设办事结果，节俭了多量的人力和岁月，有用地消重了筑设的利用本钱。

　　本年以后中微公司新得到专利授权35个，较昨年同期增多了218.18%。勾结公司2024年中报财政数据，2024上半年公司正在研发方面参加了5.68亿元，同比增94.58%。

　　以上实质为证券之星据公然消息整顿，由智能算法天生（网信算备240019号），不组成投资提议。

　　证券之星估值了解提示中微公司盈余才略凡是，异日营收获长性凡是。归纳根本面各维度看，股价偏高。更多

　　以上实质与证券之星态度无闭。证券之星揭橥此实质的主意正在于传达更多消息，证券之星对其主见、推断依旧中立，不包管该实质（征求但不限于文字、数据及图表）悉数或者个人实质简直凿性、确实性、完美性、有用性、实时性、原创性等。相干实质过错列位读者组成任何投资提议，据此操作，危害自担。股市有危害，投资需仔细。如对该实质存正在反对，或浮现违法及不良消息，请发送邮件至，咱们将调度核实惩罚。如该文符号为算法天生，算法公示请见网信算备240019号。

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