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金融界2025年1月2日信息，国度常识产权局音信显示，深圳市东信高科自愿化设置有限公司赢得一项名为“种等离子除胶机”的专利，授权告示号 CN 222241730 U，申请日期为2024年5月。
专利摘要显示，本适用新型公然一种等离子除胶机，涉及除胶机范畴。该等离子除胶机搜罗机架主体，所述机架主体上设有下腔体座，所述机架主体上动弹连合有上腔体座，所述上腔体座上设有工艺气体进气管，所述下腔体座的内部设有水冷电极，所述水冷电极的底部设有抽真空管道和水冷管道。该等离子除胶机除胶时，下腔体座和上腔体座腔体为圆形腔体，愈加合用于晶圆除胶，况且等离子除胶属于干式去胶，大局部去胶工艺都合用，除胶更彻底、效能更速，采用圆形水冷电极，确保放电匀称性，等离子体发生更匀称，抵达更好除胶效率，配合水冷连合组件，接通轮回水，带走除胶经过中的热量，确保除胶效率。
天眼查材料显示，深圳市东信高科自愿化设置有限公司，造造于2012年，位于深圳市，是一家以从事打算机、通讯和其他电子设置缔造业为主的企业。企业注册血本1500万群多币，实缴血本400万群多币。通过天眼查大数据阐明，深圳市东信高科自愿化设置有限公司到场招投标项目29次，专利音信41条，其它企业还具有行政许可10个。
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