1、编造达成红表到紫表波段局限功率100瓦的辐照强度; 2、样品通过陶瓷电阻加热最高加热温度局限温度800 ℃以上; 3、通过信号爆发器及可调放大器达成频率限度1MHz-3GHz之间的电磁辐照; 4、样品托为兼容性 2英寸样品托; 5、可能供应起码两种气道编造,腔体内部做好抗腐化涂层; 6、装备减压阀。
采购等离子体超高线台,用于达成超薄二维原子晶体资料大尺寸、大晶粒、原子层可把持备。成长样品尺寸可兼容2英寸,成长加热温度可达500℃,加热台最高加热温度可达1000℃;蕴涵6道先驱体源管道,个中3道为常温源,3道为加热源,先驱体源加热温度不低于200℃;蕴涵热ALD和PEALD两种形式。
采购离子刻蚀显影编造1套,用于真空互联的条件下摸索新的纳米加工技艺开采,达成真空互联干膜光刻胶显影和无掩膜图形化,避免水氧接触,已毕真空器件图形化。以缓冲腔与超高真空管道互联,缓冲腔线Pa;反映室线等气体,同时预留5道供切换其他气体,均以MFC把持流量;可达成2英寸样品刻蚀深度100 nm,不服均性≤ ±5%。
全主动晶圆减薄机满意4、6、8inch兼容,可达成碳化硅、蓝宝石、硅、磷化铟等半导体资料全主动干进干出减薄工艺;主轴为气氛主轴,数目2个及以上;载台3个及以上;具备厚度监测编造;正在线监测厚度起码具备接触式和光学两套监测编造;衡量厚度限度可笼罩0-3mm样品;减薄完后样品TTV<1.5μm;减薄后最幼厚度<100μm。以实践通告为准。
光学薄膜蒸发编造,筑筑需撑持多层膜系策画,兼容多种镀膜资料(如Si、Ge、SiO2、TiO2、Ta2O5、Al2O3等)。镀膜平均性:≤±1%;膜层厚度把持精度:≤±0.5nm(需撑持及时监控编造);线Pa(极限真空度);镀膜速度:遵循工艺需求可调(如0.1-10nm/s);主动化水准:装备主动翻转编造、膜厚监控软件及工艺参数数据库;带离子源,装备光控模块,8寸向下兼容。以实践通告为准。
高明宽比超细孔径工艺开采。开采细孔径超高明宽比硅/玻璃通孔互毗连构造造技艺,通过编造性工艺商量筑筑智能预测编造。展开明孔造备工艺配方优化策画测验,笼罩干法刻蚀、湿法腐化及金属填充等合头工序,修筑跨学科测验-企图商量编造,通过实践加工获取足够量的有用工艺参数与通孔质料(深宽比、侧壁粗劣度、填充缺陷率等)的实测数据,纠合分子动力学模仿与有限元领会,天生联系工艺-本能相合企图数据,修筑呆板研习模子,协调测验与仿真数据陶冶,通过转移研习提拔模子泛化才能,天生大通量工艺参数预测数据集,筑筑工艺学问图谱。成效交付整套工艺数据和工艺质料预测模子(含接口)。采购数目:1项。时限:1.5年。以实践通告为准。
全新推出!沃特世Bioprocess Monitor运用轨范帮力生物工艺经过高效监测与主动化把持
中合村军民协调消息设备工业促使会对《地下掩体超导磁探测编造技艺央求及试验措施》等6项集团尺度搜罗私见
中国食物药品企业质料安闲促使会对《抗皱紧致舒缓类化妆品成绩传扬评测措施》等三项集团尺度搜罗私见
宁夏化学领会测试协会对《枸杞中氟吡呋喃酮的测定 液相色谱串联质谱法》等3项集团尺度搜罗私见
中国产学研互帮促使会对《宠物食物中β-烟酰胺单核苷酸(NMN)含量测定 高效液相色谱法》集团尺度搜罗私见